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S622 IU exhaust flow value S622D SitePrep 改訂依頼
From: Fukagawa Shigeta-深川 重太 Sent: Thursday, April 18, 2013 10:12 AM To: Furihata Mamoru-降旗 完 Subject: FW: S622 IU exhaust flow value
降旗様
お世話になります。2-1K 深川です。 IU排気の排気口サイズ変更（Φ200→Φ150）をお願いします。 風量・圧力の変更はございません。
NPIよりきました情報を転送します。 よろしくお願いします。
以上
資料は下記 \\nsi-share.nikonoa.net\root\NSI-21070000-05\W-情報エリア【社外秘】\装置情報\NSR\ハードウェア関連\NSR_Hardware\X8V1a_S622D\SPG改訂依頼
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